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凛冬将至,日本出台半导体制造设备出口管制措施
发布时间:2023-06-11

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上周,日本经济产业省正式公布了《外汇法》法令修正案,将先进芯片制造所需的23个品类的半导体设备列入出口管理的管制对象,修正案自今年3月31日正式披露,并接受了为期一个多月的征求意见之后终于在5月23日定稿,并将正式于7月23日实施。


此次正式公布的出口管制政策与之前公布的版本基本一致。被新增列入出口管制设备品类包括:3项清洗设备、11项薄膜沉积设备、1项热处理设备、4项光刻设备、3项蚀刻设备、1项测试设备。


据悉,这项措施涉及清洗、成膜、热处理、曝光、蚀刻、检查等23个种类,包括极紫外(EUV)相关产品的制造设备和三维堆叠存储元件的蚀刻设备等。就计算用逻辑半导体的性能而言,它是制造电路线宽10 纳米至14 纳米或更小的尖端产品的必备设备。


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01


|管制措施覆盖关键材料和设备

根据VLSI Research的一份数据(应该是2020年的)显示,在整个半导体制造设备市场,主要被美国(41.7%)、日本(31.1%)和荷兰(18.8%)这三个国家所占据。


其中,美国在蚀刻和清洗设备、薄膜沉积设备、CMP设备、过程控制设备、测试设备等领域占据较大优势;日本则在光刻设备、蚀刻设备、划片设备、测试设备等领域具有一定优势;荷兰则是在光刻设备领域具有较大优势。


1、光刻设备

光刻机则是光刻步骤的核心设备,也是技术难度最大、单价最高的半导体设备。在全球光刻设备市场,目前全球前三大厂商分别为荷兰ASML,日本尼康和佳能,三者占据了约99%的市场,其中ASML一家独占了约90%的市场,并且独家垄断了EUV光刻设备。


2、刻蚀设备

在全球刻蚀设备市场,美国泛林集团、日本东京电子和美国应用材料这三家厂商占据主导地位。数据显示,2020年泛林集团(46.71%)、东京电子(26.57%)和应用材料(16.96%)合计占据90%以上的全球刻蚀机市场份额。


3、薄膜沉积设备

在全球薄膜沉积设备市场,主要被美国应用材料和泛林集团、日本东京电子所占据。国内也有公司在做,但是无论是技术水平还是市场占有率,都严重落后日本。


4、半导体清洗设备

在全球半导体清洗设备市场,也主要被日本、美国、韩国厂商所垄断,这三个国家的厂商合计占据了超过80%的市场。其中,日本厂商Screen Semiconductor Solutions处于领先地位,约占市场份额的50%。


国产拥有类似的企业,只是占比较低。在整个半导体领域,国外厂商的全球市场占比基本上在80%以上,甚至还有部分占据了90%以上。其实力完全不是初出茅庐的国内企业所能在短期内取代。


02


|对国内半导体产业的影响确实大

首先,日本是半导体设备制造领域的重要国家之一,他们在蚀刻设备、划片设备和测试设备方面具有竞争优势。这意味着,日本的管制措施将直接影响中国半导体产业链的稳定性和供应链的安全性。


1、光刻机,上海微电子光刻机工艺水平突破至90nm阶段,28nm光刻机的部分技术已经通过验证,相信集成制造不会太远了。


2、蚀刻机,目前我国蚀刻机最先进水平已经达到5纳米,而且5纳米以下蚀刻机技术也实现了突破。目前国产蚀刻机的市场份额相对比较小,随着日本以及美国禁止向中国出口这些先进设备,会给国内企业带来更多的市场机会。


3、沉积设备,种类繁多,包括PVD设备,CVD设备,ECD设备、ALD设备等等。国内有北方华创、上海中微、拓荆科技都能够生产相关沉积设备。


4、清洗设备,国内有部分厂家能够生产出8~12寸晶圆的清洗设备,如果日本限制向中国出口这些设备了,国产相关企业能够替代上来。


5、检测设备,我国国内有相关企业能够生产出一些中低端的设备,包括中科飞测,上海精测等企业,国内相关企业能够替代部分市场。


其次,日本的管制措施也可能引发其他国家对日本半导体产品的关注。一些国家可能开始重新评估依赖日本半导体设备的风险,并寻找替代方案。这可能导致半导体设备市场格局发生变化,给其他国家的企业提供了发展机遇。


此外,这一事件还引发了人们对于全球半导体产业供应链的关注。半导体产业的发展离不开全球范围内的合作与共享。任何一个环节的变动都可能对整个供应链产生连锁反应。因此,日本管制措施的影响不仅局限于中日双边关系,而可能对全球半导体产业链带来波及。


03


|竞泰观点

日本此次限制出口的23种半导体材料和设备中包括了多种关键性材料,聚酰亚胺和高纯度氮等。这一些,都是我们对于半导体研究发展,特别需要的关键性的材料。


中国产业界纷纷向日本政府提交评论意见,多家行业协会公开发表声明反对日方举措,一些日本行业团体和企业也以各种方式表达了对未来不确定性的担忧。但令人遗憾的是,日方公布的措施未回应业界合理诉求,将严重损害中日两国企业利益,严重损害中日经贸合作关系,破坏全球半导体产业格局,冲击产业链供应链安全和稳定。


限制是一把双刃剑,限制高科技产品出口中国的同时,也失去了中国大陆的庞大市场。对于中国芯片产业来说,也是双刃剑。如果中国从此奋起直追,若干年后研制出自己的先进设备,那将是中国芯片产业的春天。反之,从此以后被卡死脖子,那将是中国芯片产业的寒冬。


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